德国欧库睿因推出第一台的参比椭偏仪

2016年2月16日至18日，德国欧库睿因（Accurion GmbH）全球经销商大会在欧库睿因欧洲总部、德国大学城----哥廷根举行。会上，德国欧库睿因发布了首创的光谱型参比椭偏仪，它通过测量被测样品与参比样品的差别从而对被测样品进行椭偏分析。该椭偏仪具有光路设计精巧、测量速度超快、简单易用、稳定性好、测量精度高等多种优势。特别适用于大面积样品（硅晶圆、太阳能电池和石墨烯等）的薄膜厚度分布/残余应力测量和薄膜生长过程控制/动态测量，是质量检测、缺陷分析和表界面研究等领域的好工具。

会上来自澳大利亚、日本、荷兰、波兰、俄罗斯、西班牙、土耳其、英国等地的经销商代表对新仪器进行了深入了解，来自美国、中国和印度分公司的代表也表示非常看好新仪器的应用前景。